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FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台
l行程覆盖100mm、200mm与300mm
l坚固的台身设计
l真空环境使用
l免费标准版SDK
产品简介
FMS120V系列真空步进电机高精度通用平移台：在FMS120系列基础上，我们设计了FMS120V系列真空专用位移台。FMS120V广泛适用于真空环境的应用中，在-196 ~ +250℃的高低温环境、多种辐射环境以及真空度10-7~ 10-3Pa环境中仍然能够保持高精度运行。
产品应用
lX射线环境
l真空靶室
l超高低温环境
性能实测
接线定义
电机接口
产品图纸
FMS120V-100
FMS120V-200
FMS120V-300
产品参数
Model | FMS120V-100 | FMS120V-200 | FMS120V-300 |
⾏程(mm) | 100 | 200 | 300 |
负载(Kg) | 20 | 20 | 20 |
分辨率(μm) | 2.5 | 2.5 | 2.5 |
最⼩步进量(μm) | 3 | 3 | 3 |
单向重复定位精度/保证值(μm) | ±1 | ±2 | ±3 |
单向重复定位精度/典型值(μm) | ±0.5 | ±1 | ±2 |
双向重复定位精度/保证值(μm) | ±3 | ±3 | ±4 |
双向重复定位精度/典型值(μm) | ±2 | ±2 | ±3 |
定位精度/保证值(μm) | ±12 | ±15 | ±20 |
定位精度/典型值(μm) | ±6 | ±8 | ±10 |
最⼤速度(mm/s) | 40 | 40 | 40 |
直线度(μm) | 12 | 15 | 20 |
平整度(μm) | 12 | 15 | 20 |
偏摆 | 30 | 40 | 50 |
俯仰 | 30 | 40 | 50 |
重量(kg) | 10.4 | 12 | 13.5 |
