发那科FANUC电源模块故障维修：

发那科FANUC电源模块维修DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10

ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601P
OEM Series:OEM-6  OEM-6A OEM-6B OEM-12   OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25A
OEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RF
Spectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513
Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013
GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040
GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040
NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A
RACK Series: RACK-AM-300 OTHERS: DPGS-10 DPGD-10 LPG-6A LPG-12A PL1-HF PL2-HF PL3-HF
Quanta-10 HF-300 HF-650 HPG-2
oneBox Series: OB1-01 OB1-02 OB1-03 OB1-04 OB2 Series OB4 Series 000-1093-076(2MHZ,2.5KW)
000-1093-077(27.12MHZ,1.8KW) 000-1093-075(DUAL MATCH) 000-1134-076 000-1134-077 000-1134-077R

  专业射频电源研发和第三方维修供应商，是国内早从事工业电源维修的企业。

服务范围：

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

发那科FANUC电源模块故障维修服务优势：

拥有一批专业技术人才，品牌射频电源工程技术支持，消化吸收*技术基础上创新发展，锻炼培养十几名经验丰富的维修工程师。拥有自主开发的专业配套射频电源测试平台，高压电源测试负载，直流电源测试负载，专用测试仪器设备，以及丰富的图纸技术资料。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU。      

电源维修

专业维修半导体设备电源，主要有高压电源（High Power Supply）、框架式可控大功率直流电源（DC Power Supply）、

射频电源(RF Generator)、微波发生器(Microwave Power Supply)及RF Match、Smart Match、RPSC等专业设备维修。

Thermo Chiller维修

温度控制泵浦，设备冷却系统，品牌有SMC，小松、大金、申和等

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

1、AE（ADVANCED ENERGY）射频电源/直流电源

2、MKS ENI射频电源/直流电源

3、DAIHEN射频电源

4、KYOSAN射频电源/直流电源

5、COMDEL射频电源

6、ADTEC射频电源

7、SEREN射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配网络)

1、AE （Advanced Energy） RF Match Network

2、LAM RF Match Network

3、AMAT RF Match Network

4、SEREN RF MATCH NETWORK

5、DAIHEN RF Match Network

6、SEREN RF Match Network

三、高压电源

1、HiTek Power supply高压电源

2、ADVANCE HIVOLT高压电源

3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

4、GLASSMAN高压电源

5、SPELLMAN高压电源

6、Varian高压电源

7、其他品牌

四、直流电源

1、LAMDBA ESS/EMI直流电源

2、Delta ELEKTRONIKA直流电源

3、SORENSEN直流电源

4、AMETEK可编程电源

5、POWER TEN直流电源

6、灯丝电源、X射线电源

7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator

2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源

3、ASTeX Smart Match

   六、RPSC

   MKS 2L

    MKS 3L

    MKS 6L

    MKS 8L

    MKS 15L

    MKS 22L

   七、CHILLER温度控制泵浦

    SMC INR-341-16A

    SMC INR-498-011

    SMC INR-244-215

    SMC-INR-244-117A