LEBO/雷博 品牌
生产厂家厂商性质
无锡市所在地
产品优势
·全封闭式显影，避免雾气扩散到外部，污染环境。
·外壳喷塑，耐腐蚀，易清洗。
·内腔不锈钢材质，镜面抛光处理，光滑，耐腐蚀，易清洗。
·内置真空过滤器，防止液体吸入真空泵。
·真空压力可调，压力值实时显示。
·液体流量可调，回吸可调。
产品参数
支持wafer尺寸：碎片至200mm（8”圆晶）
·转速分辨率：±1 RPM
·旋涂速度：20-3000rpm（空载）
·旋涂加速度：20-10,000rpm/sec（空载）
·工艺时间设定： 0-3,000sec/step，时间设置精度： 0.1sec
·该机型适用于标准3路显影机（1路显影液，1路纯水，1路氮气）
·单步工艺及多步工艺可选，内置100组可编辑程序
·可根据客户需求定制四管路显影机或更大基片的显影机。
