高低温真空探针台进行真空环境下的高低温测试（4.2k-500k），可升级加载磁场，低温防辐射屏设计，样品台采用高纯度无氧铜制作。温度均匀性好，温度传感器采用有着良好稳定性和重复性的PT100或者标定过的硅二管做为测温装置，支持光纤光谱特性测试，兼容高倍金相显微镜，可微调移动，器件的高频特性，探针热沉设计，LD/ED/PD的光强/波长测试自动流量控制，材料/器件的IV/CV特性测试等。应用于高低温真空环境下的芯片测试，材料测试，霍尔测试，电磁输运特性等。

可选附件：

þ 防震桌

þ 多级压缩制冷机

þ 机械泵/分子泵组/离子泵

þ 射频部件

þ 各类型频率真空接头

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线等…

þ 各类探针夹具

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件