三维磁场探针台能提供一维 、二维 、三维的磁场探针台，采用无磁材料制成，一维 、二维 、三维三对亥姆霍兹线圈正交放置，产生空间一维 、二维 、三维磁场。线圈可采用风冷（磁场较小）也可采用水冷结构（磁场较大），并且配备有线圈过热保护装置。和高精度双性直流电源配合使用可以长时间稳定工作。通过软件或者电源控制面板上按键控制每一维上的输出电流，可以产生空间任意方向的矢量磁场。探针台配备有可移动样品台，可以实现水平方向二维移动和样品台360度转动，便于样品的安装和测试。探针台具有四个高精度探针臂，同时配有高精度电子显微镜，便于微小样品的观察操作。探针可通过直流或者低频交流信号，用来测试芯片、晶圆片、封装器件等。

应用范围：广泛应用于半导体工业、MEMS 、超导、电子学、铁电子学、物理学、材料学和生物医学等领域。三维探针台和高精度双性电源相匹配，通过真正的双性电源输出，实现了空间任意方向上的矢量场合成。

 可选附件：

þ 各类DC探针、高频探针、主动式探针、电缆线

þ CCD或C-MOS视频成像装装置

þ Chuck运动装置

þ 电磁铁系统/超导磁铁系统

þ 1Mpa正压系统升级

þ 超高温升级选件

þ 超高真空升级选件

þ 各类探针夹具

þ 屏蔽箱

þ 防振桌

þ 转接头      

þ 静音真空泵

 技术指标：