一、Filgen 紫外臭氧清洗机的优点

●适用于各种基材的无损清洗。

●易于去除超声波清洗无法清洗干净的基材表面的有机污染物。

●能够去除湿洗过程中残留的有机溶剂。

●常压下工作。无需真空环境。

●薄膜涂层基体预处理的理想解决方案。

二、Filgen 紫外臭氧清洗机的原理

紫外线臭氧清洗是利用短波长紫外线的光敏氧化作用。在此过程中，有机污染物如光刻胶、树脂、硅油和焊剂通过吸收短波紫外线而分解。当氧气分子和臭氧在波长分别为184.9nn和253.7nm紫外线照射下同时产生活性氧(ROS)。波长253.7nm的紫外线大部分被碳氢化合物和臭氧吸收。污染物与活性氧反应，生成易于挥发的气体(如二氧化碳、水等)，然后逸出基质表面。当波长184 9nm和253.7nm紫外线同时作用下，氧原子持续不断的生成并转化为臭氧，最后臭氧被进一步分解。

三、应用

薄膜涂层的预处理

●功能膜的清洗(如ITO膜)

●各种薄膜沉积工艺前的清洗光刻胶去除

●电子、机械和光学部件的清洁(如:硅片、透镜、镜面、太阳能电池板、液晶面板和路板等)

●改善塑料表面涂层的粘接性能。

电子显微镜相关

●去除SEM/TEM样品表面有机物污染

●提高金刚石、玻璃刀、支撑膜的润湿性和亲水性

其它

●原子力显微镜悬臂梁的清洗

●聚二甲基硅氧烷( PDMS)表面改性

●超高真空密封件的清洗

●清除助焊剂

●有机功能材料的刻蚀

●玻璃脱气去除晶圆表面切割带和标记墨水

●Ta2O5薄膜退火