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无损电阻率测试仪介绍：
非接触式单点薄层电阻测量系统。该装置包含一个涡流传感器组，感应弱电流到导电薄膜和材料。非接触式薄膜方块电阻测量仪试样中的感应电流产生与测量对象的片电阻相关的电磁场。电涡流技术不依赖于表面特征或形貌。此外，非接触式单点方阻测试仪不需要如已知的2或4点探针测试(2PP, 4PP)或霍尔效应或范德波测量一样进行任何形式的充分的样品接触或备样。非接触式单点方阻测试仪既不需要设置测试结构，也不受表面粗糙度或非导电封装或钝化层的影响。此外，测量不会对被测薄膜产生物理影响。涡流仪器不存在机械磨损，使用寿命长。无损电阻率测试仪的独立性与接触质量和它的高速允许实现高重复性和准确性，有利于在研发和测试实验室的各种薄膜的系统质量保证。
