恒歌 品牌
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产品介绍
IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规 格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升 级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的 表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计
