混气系统2路质子GSL-2Z

GSL-2Z混气系统2路质子GSL-2Z

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具体成交价以合同协议为准
2016-04-15 15:57:35
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沈阳科晶自动化设备有限公司

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产品简介

混气系统2路质子GSL-2Z是用于控制一种或两种的气体流经真空密封的管式炉,这种气体控制系统安装在移动架内,管式炉可以放在移动架上面,气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀,可以用于CVD系统及退火炉,用来研究气体环境对材料的影响,在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用,广泛应用于电子工艺设备,如扩散、氧化、外。

详细介绍

 

产品型号

  混气系统2路质子GSL-2Z

主要特点

  精度高,运行稳定可靠,工作压力范围宽,可在高压或真空条件下工作,且操作使用方便。

技术参数

  1、电源:185-245V  50Hz

  2、zui大输出功率:18W

  3制范围:控制器1——1-199SCCM、控制器2——1-499SCCM

  4、zui大压力:3×106  Pa

  5、准确度:±1%FS

  6、线性:±0.5-1.5%

  7、重复精度:±0.2%FS

  8、响应时间:气特性1-4s,电特性10s针阀:316不锈钢

  9、工作压差范围:0.1-0.5 MPa

  10、压力表测量范围:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

  11、混气罐:Φ80mm×120mm

  12截止阀:Φ1/4″316不锈钢针阀

  13、工作温度:5-45

产品规格

  尺寸:600mm×600mm×650mm

 

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