产品型号

　精密液体气相发生器

主要特点

   1、流体和气体在一个316不锈钢罐中加热。

   2、采用30段程序化控温。

   3、气体流速通过浮子流量计控制。

   4、配有压力表，可测出液气混合罐中的气体压强。

   5、配有两个不锈钢针阀，以控制气体进出。

   6、可与本司所有管式炉和CVD系统相连接。

   7、已通过CE认证。

技术参数

   1、电源：单相AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率：1000W

   3、蠕动泵：精确度±0.02%FS，流量0-80ml/min（可调）

   4、zui高工作温度：300℃

   5、控温精度：±1℃

   6、浮子流量计：0-2000ml/min（可调）

   7、出气口：外径1/4″

产品规格

　尺寸：350mm×335mm×300mm；重量：5kg

  加热带（缠绕在外接的管道上，以保证液体蒸汽在传输过程中不会液化。）