产品名称

钙钛矿镀膜机

主要特点

1、样品位于真空室上方，蒸发源位于真空室下方，向上蒸发镀膜，且蒸发源带有挡板装置。

2、设有烘烤加热功能，可在镀膜过程中加热样品，烘烤加热温度可达180℃。

3、设有断水、断电连锁保护报警装置及防误操作保护报警装置。

技术参数

1、镀膜室：不锈钢材料，采用方形前后开门结构，内带有防污板，腔室尺寸约为600mm×

           450mm×450mm

2、真空排气系统：采用分子泵+机械泵系统

3、真空度：镀膜室极限真空≤6×10^-4Pa

4、系统漏率：≤1×10^-7Pa

5、蒸发源：安装在真空室的下底上；有机蒸发源4个、容积5ml，2台蒸发电源，可测温、

           控温，加热温度400℃，功率0.5KW；无机蒸发源4套、容积5ml，2台蒸发电

           源，加热电流300A，功率3.2KW；蒸发源挡板采用自动磁力控制方式控制其开

           启

6、样品架：安装在真空室的上盖上，可放置Ø120mm的样品、载玻片，旋转速度0-30rpm

7、加热温度：RT-180℃，测温、控温

8、膜厚控制仪：石英晶振膜厚控制仪，膜厚测量范围0-999999Å