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振动样品台主要适用于我公司制造的VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪、VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪。用于对粉末样品的溅射镀膜使用，由于样品台的不断振动，使粉末颗粒样品不断进行翻转，从而使粉末颗粒的整个外表面全部溅射上所需要的薄膜材料，或用薄膜材料将粉末进行包覆。样品台的振动频率可以根据需要在6-33Hz之间进行调节，所能进行振动的粉末样品颗粒直径范围广，在 1-1000um之间，适用于绝大多数的粉末颗粒样品。振动样品台结构小巧易于安装，是用VTC-600-2HD双靶磁控溅射仪、VTC-600-3HD三靶磁控溅射仪进行粉末样品溅射镀膜时*的辅助设备。
产品型号 | 振动样品台 |
产品特点 | 1、振动样品台安装在真空腔体底部 2、粉末放置于样品台上，溅射时粉末振动翻转，对粉体表面进行包覆 |
技术参数 | 1、样品台振动频率可调节：6-33Hz 2、样品台直径为50mm 3、建议样品量: < 500 mg 4、建议颗粒尺寸: 1 ~ 1000um |
