产品型号

HT-200型精密程控烤胶机（HT-200A标准型，HT-200B型）

主要特点

1、加热板面积220mm×220mm,大适合8"圆晶尺寸

2、耐腐蚀硬质阳极氧化铝面板

3、带顶针功能,可实现接近模式加热烤胶

4、程控准确计时,精确控温,顶针高度可调

5、七寸全彩触摸屏操作,全不锈钢机身,经久耐用

6、特殊的隔热设计和长寿命、高均匀性发热部件采用

7、可编辑存贮100组,每组5步用户烤胶程序;(B型）

8、带热辐射保护盖,更高的烤胶均匀性

9、顶针可使用底物直径大于40mm,特殊要求可定制

10、带线性控温和真空吸附功能(B型）

技术参数

1、大设置温度：300℃

2、大设置时间：100,000S

3、时间分辨率：0.1Smm

4、顶针调节距离：30mm

5、顶针分辨率：0.1mm

6、加热功率：1000W

7、控温范围:室温-300℃

8、温度分辨率:0.1℃

9、控温精度:±0.2℃

10、表面温度均匀性:<±1%

11、可存贮100组烤胶配方,每个配方可设置5个加热阶段

12、电动顶针高度0-30.0mm

13、顶针高度分辨率:0.1mm

14、顶针可使用底物直径大于40mm晶圆,特殊要求可定制

产品规格

1、外型尺寸：450(D)×300(W)×295(H)

2、重量：25Kg