Turbo-V 1K-G 分子泵_涡轮分子泵和控制器-安捷伦科技（中国）有限公司手机版

详细介绍

高通量Turbo-V 1K-G 分子泵是一种专用真空泵系统，抽速可达 1000 L/s。Turbo-V 1K-G 专为工业应用而设计，尤其可用作薄膜沉积设备的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和很高氩气流下工作。

典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 1K-G 的可靠设计和先进的电子设备、机架式或一体式解决方案，使其成为真空镀膜行业的最佳分子泵解决方案。

特性

Turbo-V 1K-G 分子泵专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案
经优化适用于很高的氩气流量
支持高气体流速，能够使用 DN 160 或 200 实现高通量应用
耐用设计、高效运行的冷却系统可实现连续运行
气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行
低噪音，不会对系统产生任何影响
体积小巧，可安装在任何位置，有利于轻松集成
免维护轴承，零运行成本
通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵的操作
通用电子接口

性能指标

H2 压缩比	1.5 x 104
He 压缩比	>4 x 104
N2 压缩比	>5 x 107
前级管道法兰尺寸	KF 25 NW KF 40 NW
前级耐压 — N2	3 mbar
启动时间	< 5 min
工作位置	任意
建议采用的前级泵容量	20 m³/h
抽速 — Ar	1040 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — H2	730 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — He	1150 L/s (ISO 200) L/s
抽速 — N2	1080 L/s (ISO 200) L/s
振动水平	< 在抽气口法兰处为 0.01 μm
操作环境温度	+5 to +35 °C
极限真空	<1 x 10–10 mbar
标准和认证	UNI EN 292-1 UNI EN 292-2 EN 55011 A类 EN 61000-4-2 EN 61000-4-3 EN 61000-4-4 EN 61000-4-5 EN 61010-1 EN 1012-2
法兰类型	DN 160 ISO-F DN 200 ISO-F
贮存环境温度	-20 至 +70 °C
重量	26.8 kg
额定转速	45660 rpm（驱动频率 761 Hz）

产品简介

详细介绍

常用功能直达