TwisTorr 804 FS 涡轮分子泵
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TwisTorr 804 FS 涡轮分子泵

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具体成交价以合同协议为准
2023-05-28 17:38:35
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安捷伦科技(中国)有限公司

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产品简介

TwisTorr 804 FS 涡轮分子泵配备 DN 200 和 250 法兰,可提供 800 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,其采用的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS) 能够确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 804 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、高性能、低成本的分子泵。

详细介绍

TwisTorr 804 FS 涡轮分子泵配备 DN 200 和 250 法兰,可提供 800 L/s 的抽速,对轻质气体可实现高压缩比,其采用的安捷伦悬浮轴承技术 (AFS) 能够确保低振动和低噪音,适用于各种敏感环境。TwisTorr 804 FS 的高压缩比、高前级耐压能力和免维护运行使其成为一种可靠、高性能、低成本的分子泵。

TwisTorr 804 FS 涡轮分子泵是大型 UHV 系统、核研究、离子注入器、表面分析和电子显微镜应用的理想选择。该泵的智能控制器可根据系统需要自动优化泵的性能。

特性


  • 可对轻质气体实现高压缩比,同时支持高气体流速,从而能够通过 DN200 或 250 法兰在极低的极限压力下运行,同时可用于高通量应用

  • 无烃运行,可确保真空系统洁净

  • 远程控制器可在距离 100 m 处进行操作

  • 低振动和低噪音 (43 dB(A)),打造舒适的工作环境并且可以在敏感的实验环境下运行

  • 体积小巧,可安装在任何位置,有利于轻松集成

  • 免维护轴承,零运行成本。

  • 真空计读数功能,用于监测系统压力

  • 通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制,以便随时随地进行泵的操作

  • 防辐射和防磁场设计,无嵌入式电子设备,可在强磁场和辐射环境下运行

  • 低电磁辐射,确保不会干扰工艺过程

  • 泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到很大化,可在泵的操作条件下始终保持最佳气体流量和压缩比


性能指标


H2 压缩比
  • 3 x 106

He 压缩比
  • 2 x 108

N2 压缩比
  • >1 x 1011

冷却方法
  • Air cooling

  • Water cooling

前级管道法兰尺寸
  • KF 25 NW

  • KF 40 NW

前级耐压 — N2
  • 10 mbar

启动时间
  • < 5 min

噪音水平
  • 43 dB(A)

工作位置
  • 任意

建议采用的前级泵容量
  • 10 m³/h

抽速 — Ar
  • 690 L/s

抽速 — H2
  • 485 L/s

抽速 — He
  • 660 L/s

抽速 — N2
  • 720 L/s

操作环境温度
  • +5 to +35 °C

最高气体通量 — Ar、水冷
  • 3.3 mbar L/s;195 sccm

最高气体通量 — N2、水冷
  • 6.2 mbar L/s;367 sccm

极限真空
  • <1 x 10-10 mbar

标准和认证
  • 61326-1
    61010-1
    DIR 2006/42/CE
    DIR 2014/35/EU
    DIR 2014/30/EU
    DIR 2011/65/EU

法兰类型
  • DN 200

  • DN 250

贮存环境温度
  • -40 至 +70 °C

重量
  • 20.7 kg

额定转速
  • 40800 - 49500 rpm(驱动频率 680 - 825 Hz)




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