Turbo-V 3K-G 分子泵
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Turbo-V 3K-G 分子泵

参考价: 面议

具体成交价以合同协议为准
2023-05-28 17:17:56
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化工
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安捷伦科技（中国）有限公司

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产品简介

Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款专用真空泵系统，是针对薄膜沉积设备精心设计的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和极高氩气流下工作。

这款泵设计坚固，适用于恶劣的制造环境。典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠设计和先进的集成电子设备，使其成为真空镀膜行业的最佳分子泵解决方案。

详细介绍

Agilent Turbo-V 3K-G 分子泵是一款专用真空泵系统，是针对薄膜沉积设备精心设计的涡轮分子泵。其叶片级数和整个泵结构均经过优化，能够在高温负载和很高氩气流下工作。

这款Turbo-V 3K-G 分子泵设计坚固，适用于恶劣的制造环境。典型的工业真空镀膜应用，包括太阳能板和平板显示器制造。Turbo-V 3K-G 的可靠设计和先进的集成电子设备，使其成为真空镀膜行业的最佳分子泵解决方案。

特性


  • 专为薄膜沉积应用而设计的分子泵解决方案

  • 经优化适用于很高的氩气流量

  • 集成式泵和控制器可安装在任何位置，操作简单，占地面积小

  • 支持高气体流速，能够使用 DN 250 实现高通量应用

  • 耐用设计、高效运行的冷却系统可实现连续运行

  • 气体吹扫可保护泵轴承，在存在系统污染物和微粒的情况下可实现无缝运行

  • 低噪音，不会对系统产生任何影响

  • 免维护轴承，零运行成本

  • 通过 Vacuum Link 应用程序实现无线控制，以便随时随地进行泵操作并可选配 Profibus

  • 通用电子接口，包括模拟 I/O 信号和 RS232/RS485，用于通过 A-Plus 软件实现远程控制


性能指标


He 压缩比

  • 6 x 103

N2 压缩比

  • >1 x 107

前级管道法兰尺寸

  • KF 40 NW

前级耐压 — N2

  • 0.5 mbar

启动时间

  • < 6 min

工作位置

  • 任意

建议采用的前级泵容量

  • 60 m³/h

抽速 — Ar

  • 2050 L/s

抽速 — He

  • 1900 L/s

抽速 — N2

  • 2200 L/s

操作环境温度

  • +5 to +35 °C

极限真空

  • <1 x 10–8 mbar

标准和认证

  • EN 55011（无线电干扰特性）
    EN 61000-3-2（谐波电流发射限值）
    EN 61000-3-3（电压变化、电压波动和闪烁的限制）
    EN 61000-6-2 和 EN 61326（工业环境的抗扰度）检查：
    EN 61000-4-2（静电放电现象）
    EN 61000-4-3（高频辐射现象）
    EN 61000-4-4、EN 61000-4-5 和 EN61000-4-6（高频导电现象）
    EN 61000-4-11（电压波动、电压暂降和短时中断）

法兰类型

  • DN 250 ISO-F

贮存环境温度

  • -20 至 +70 °C

重量

  • 52 kg

额定转速

  • 31800 rpm（驱动频率 530 Hz）



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