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AirSentry® II 电子迁移率光谱仪用于检测空气分子级污染(AMC),在监测到含酸类、胺类、氨以及氯化物气体时提醒用户。AirSentry® II 电子迁移率光谱仪具有ppt级的灵敏度,传感器反应迅速、监测选择性广、性能稳定。Air Sentry II传感器配有中央控制软件,可以轻松地采集分析数据。Air Sentry II传感器提供连续可追溯的数据,来快速回应污染源和污染事件。
酸类和基底(胺类、氨以及氯化物)的高灵敏度检测
使用点、多点式、移动式监测应用的通用产品配置
体积小,可放在任何位置
以太网,RS-232, 4-20毫安输出
连续监测关键点
耐久可靠的数据收集、控制、分析
长期数据稳定性
每份测试成本
在蚀刻技术位置里的实时腐蚀监测
在关键的光刻系统内的实时胺类以及氨的监测
化学过滤器有效率的资格确认
遍及洁净室以及生产工具里的污染源的追踪和去除
前端开口片盒圆晶片存储模块内的污染分析
电导率与迁移率和载流子浓度的乘积成正比。例如,相同的电导率可能来自于每个具有高迁移率的少量电子,或来自每个具有低迁移率的大量电子。对于金属而言,通常情况并不重要,因为大多数金属的电行为仅取决于导电率。因此,迁移率在金属物理学中相对不重要。另一方面,对于半导体,晶体管的行为取决于存在的是低迁移率的电子是多少,还是高迁移率的电子很少,其他设备可能会有很大不同。因此,迁移率是半导体材料非常重要的参数。在其他条件相同的情况下,更高的移动性几乎总是可以带来更好的设备性能。
布置在漂移室中的离子修改器,所述漂移室具有门,所述门被配置用来控制离子进入所述漂移室,所述离子修改器被配置用来修改进入所述漂移室的离子的一部分;以及控制器,所述控制器通信地连接到所述离子修改器,用来控制所述离子修改器的操作以通过同步所述离子修改器的操作与所述门的打开以选择要被修改的所述离子的一部分来选择由样品形成的所述离子的一部分及防止至少一些其他离子传向检测器,其中所述控制器被配置为控制所述离子修改器的操作,以基于所述检测器先前的响应来选择所述离子的所述部分。