干式液氦温区探针台产品主要是由真空腔体、探针控制、显微镜模块、变温样品台、进口分子泵组、全量程真空规、智能温控仪等组成。

• 干式液氦温区探针台产品特点

△ 真空腔体：真空度优于6×10-4 Pa。降温后优于6×10-5 Pa。留有2个用户法兰接口（KF40可接入气体或者额外的电缆）；

△ 探针控制：标配6个探针臂。调节范围110mm*50mm*30mm，调节精度优于10um。每个探针臂配一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆；

△ 显微镜模块：连续变倍单筒显微镜，光学放大倍率：0.5X~3. 75X（使用0. 75X附加物镜时），视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头，带同轴照明和环形照明，带机械调焦和光学调焦；

△ 变温样品台：直径标配50mm，可选配150mm。变温范围：6K~400K。控温稳定性优于±0.01 K;

△ 可选配接入光纤，可将一根或几根电学探针替换为光纤；

△ 系统直流漏电低于1pA;

△ 产品含进口分子泵机组、全量程真空规和智能温控仪。 

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