AE-801高精度微纳牛传感器适半导体应变传感器元件。该微力传感器是非常*和高度灵敏度的传感器元件。

该高精度微纳牛传感器可以将物理量的力、压力、位移、加速度、角度等转换为相应的电信号。传感器元件由两个主要部分组成，梁本身和安装梁的头部。微梁由单晶硅制成，每边各有一个扩散电阻器。缓冲器为p型，与转换器制造的方法相同，通过氧化物掩蔽技术制造。为了提供梁的自由安装，发展了合金技术，它将头部的四个销连接到终止电阻器的接触区域。因此，四个销既可以作为梁的机械安装点，也可以作为电阻的电气连接。

传感器参数

励磁电压              1 - 10 DC or AC

推荐励磁电压           <6V

电阻                  1000 Ω±25%

电阻器匹配            ±10 ％

梁在全尺寸下偏转 (FS)  通常 70 μm

梁在 FS下负载         0.12 N

安全过载              120 % of FSO

信号参数 25℃

全尺寸输出 (FSO)      30 mV/V±30 ％

各电阻器计量系数      55 - 70

非线性 (typical)         ±0.25 % FSO

滞变 (typical)           ±0.10 % FSO

由内部功耗增加的温度   0.25 ℃/mW in oil,1℃/mW in air

电阻器之间的击穿电压   1 min 15 V

环境参数

温度范围 (操作和存储)   -55 ℃ to +125 ℃

单个电阻温度系数        0.8×10-3/℃±25 %

热零位移                ±0.02 % FSO/℃

热敏位移                -0.17±0.05 %/℃

自然频率 (in air)          ~12 kHz

机械数据 

弹性模量(typical)          1.6×105 /mm2

全长弹簧常数             2 N/mm

重量                     120 mg

自然频率 (in air)          7 kHz approx.

尺寸mm

长度                     5 mm

壳体直径                 Φ1.8 mm

梁长                     5 mm

宽度                     1 mm

厚度                     0.15 mm