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产品特点:
通用性:可测量光束位置(直径高达9mm)、角度(高达180mRad)和功率(无滤波片10µW-5mW)
精确度:低至0.1µm分辨率@50Hz数字滤波器,位置测量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度测量:±0.125mRad
性能参数:
型号 | 波长 | 透镜焦距 | 位置分辨率 | 位置精确度 | 角度测量范围 | 角度分辨率 | 角度精确度 |
ALIGN-USB-50 | 350-1100nm | 50mm | ≥0.1µm | ±15µm | 180mRad | 0.02mRad | 0.5mRad |
ALIGN-USB-100 | 100mm | ≥0.1µm | ±15µm | 80mRad | 0.01mRad | 0.25mRad |
所有AlignMeter都是由2个PSD,分光镜和透镜等组成
可测波长范围:350-1100nm
最da测量光斑:50μm-8mm
图像刷新速率:150Hz