高精度单成分硫酸浓度计FUD-1 Model-130

富士工业高精度单成分硫酸浓度计 FUD-1 Model-130 CMP用/汎用薬液用

超声波液体浓度计

FUD-1Model-130系列CMP用

测量原理

超声波在液体中非常易于传播

超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响

「浓度变化」→「密度变化」→「音速变化」

本产品利用超声波的特性，高精度的测量溶液的浓度

测量「溶液的温度」+「超声波的速度」→通过CPU演算处理→浓度显示

单组分密度计的特点

Model-130是一个概念模型，强调了所测量浓度的稳定性

在需要高精度和高稳定性密度计侧的半导体制造过程中非常有效

可以高精度连续测量

免维护，无需定期调整/校准

易于安装，因为在安装过程中无需进行任何调整

通过实时输出轻松反馈到过程

单成分浓度计的特点

Model-130是重视测量浓度稳定性的概念模型

半导体制造工序等的高精度·高稳定浓度计方面被认为是必要的

优点

高精度连续计测可能

无需定期调整、校对，无需维护

设置时的各种调整等不需要也容易设置

由于实时输出反馈也容易

用途

在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等

稀释工程的各种药液浓度管理等（H2O2·TMAH·HNO3·H2SO4·HCI等）

在清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF·NH4OH·KOH·PA等）

蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（HF·H2S04等）

富士工业 高精度单成分硫酸浓度计 FUD-1 Model-130 CMP用/汎用薬液用

高精度单成分硫酸浓度计FUD-1 Model-130