富士工业超声波液体浓度计  FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用产品介绍：

超声波液体浓度计单成分用

半导体制造用

FUD-1Model-13

测量原理

超声波在液体中非常易于传播

超声波在溶液中传播的速度受溶液的浓度和温度影响

「浓度变化」→「密度变化」→「音速变化」

本产品利用超声波的特性，高精度的测量溶液的浓度

测量「溶液的温度」+「超声波的速度」→通过CPU演算处理→浓度显示

可根据检量线的交换测量各种半导体药液的浓度

发信器小型、轻量，可直接在线装置

免保养设计

接液部分全部采用（PFA)材料

小型输出设计，对药液没有影响

单成分浓度计的特点

实时浓度测量可能，浓度管理系统构筑简单

模拟DC4～20mA及数字RS232C标准输出

标配测量错误输出和警报输出

标配自我诊断功能·错误信息提示

小型·轻量小型发信器在线直接设置可能

采用PFA的接液构件、小输出设计对药液没有影响

优点

高精度连续计测可能

无需定期调整、校对，无需维护

设置时的各种调整等不需要也容易设置

由于实时输出反馈也容易

用途

在CMP工序中的CMP衬垫或氧化剂浓度管理等

稀释工程的各种药液浓度管理等（H2O2・TMAH・HNO3・H2SO4・HCl等）

在清洗过程中的清洗液浓度管理等（HF・NH4OH・KOH・IPA等）

蚀刻工序中的蚀刻液浓度管理等（HF・H2SO4等）

富士工业超声波液体浓度计  FUD-1 Model-13 CMP用/汎用薬液用参数：