MKS 远程等离子体源 Paragon F* 8SLM RPS 设计结合了专有的等离子块设计和等离子电解氧化涂层，可实现低颗粒、长寿命，从而降低拥有成本。

优点：

1.高达8SLM NF流量，紧凑的尺寸可实现更快的清洁时间

2.优秀的解离性（＞95%），可实现高效、均匀的清洁效果

3.EtherCAT智能数据报告可实现更快、更紧密的设备操作

4.兼容O₂和NF₃混合气体

5.专有的PEO等离子块设计提供更高的工艺性能

特征：

模拟或 EtherCAT 控制：Paragon 远程等离子源提供模拟和 EtherCAT通信端口。EtherCAT 可用于直接控制 Paragon，或与模拟端口结合，仅作为数据监控端口。Paragon 将智能数据集流式传输到工具或晶圆厂数据库，以监控或修改操作参数，以保持工艺工具以高效率运行并支持诊断（APC、FDC）应用程序。

MKS 远程等离子体源 Paragon F* 8SLM RPS 规格

设备类型：AX7700MTS-01 远程等离子源

点火时供气：氩气仅用于点火

点火后供气：高达8SLM的NF₃

NF₃操作反应物输出：＞95%跨操作空间解离，1-10T，1-8SLM

O₂和NF₃混合操作反应物输出：＞95%跨操作空间解离，1-10T，1-8SLM

工艺气体进排气：入口气体连接KF40，出口气体连接KF50

占空比：最少2秒准时达到峰值（处理时间＞45分钟）

气体流量：点火期间：1-8Torr，氩气1-5SLM；点火后：1-10Torr，NF₃气体1-8SLM

接液材料：PEO涂层、6061-T6铝、Chemraz、氧化铝

工作环境：环境空气≤40℃

需要冷却水：2加仑/分钟，＜30℃

控制接口：EtherCAT和模拟量I/O25针D

电流要求：208VAC，50/60Hz，35A，三相

大小：18.40 x 9.50 x 10.50 inches (467 x 241 x 267 mm)

重量：24.5公斤（54磅）