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软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了高的能量分辨率。
和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。
软X射线分析谱仪系统简介
最新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图
SXES、WDS、EDS的比较
各种分光方法中氮化钛样品的谱图
即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。
比较表
| 特征 | SXES | EPMA(WDS) | EDS |
| 分辨率 | 0.3 eV (费米边处 Al-L) | 8 eV (FWHM@Fe-K） | 120-130 eV (FWHM@Mn-K） |
| 化学结合状态分析 | 可以 | 可以(主要是轻元素) | 不可以 |
| 并行检测 | 可以 | 不可以 (但分光谱仪台数范围即可) | 可以 |
| 分光晶体和检测器 | 衍射光栅＋CCD | 分光晶体＋正比计数管 | SDD |
| 检测器冷却 | 珀尔帖冷却 | 不需要 | 珀尔帖冷却 |
| 检测限(以B作為參考值) | 20ppm | 100ppm | 5000ppm |
锂离子二次电池（LIB）分析实例
能观察到LIB的充电量
充满电后Li-K样品的谱图
说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难
轻元素的测试实例
SXES测试碳素化合物的实例
可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。
各种氮素化合物的测试实例
氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的波形。
