ROHS金属成分分析仪(SXES:Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了高的能量分辨率。

　　和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

　　ROHS金属成分分析仪系统简介：最新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分佈图

　　SXES、WDS、EDS的比较各种分光方法中氮化钛样品的谱图

　　即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

　　 比较表

特征	SXES	EPMA(WDS)	EDS
分辨率	0.3 eV (费米边处 Al-L)	8 eV (FWHM@Fe-K）	120-130 eV (FWHM@Mn-K）
化学结合状态分析	可以	可以(主要是轻元素)	不可以
并行检测	可以	不可以 (但分光谱仪台数范围即可)	可以
分光晶体和检测器	衍射光栅＋CCD	分光晶体＋正比计数管	SDD
检测器冷却	珀尔帖冷却	不需要	珀尔帖冷却
检测限(以B作為參考值)	20ppm	100ppm	5000ppm

　　锂离子二次电池（LIB）分析实例

　　能观察到LIB的充电量

　　充满电后Li-K样品的谱图

　　说明:由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难

　　轻元素的测试实例

　　SXES测试碳素化合物的实例

　　可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

　　各种氮素化合物的测试实例氮素也可以根据波形分析化学结合状态。硝酸盐和氮化物的波形不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的波形。