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一、可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计 产品特点：
-- 标配一个压力传感器和数字电路板，提供高精度、快速稳定、可靠的压力控制，该PC数字板具有控制压力所需的所有功能。
-- 除了配备标准的RS485输出信号，ACU20PCD还提供模拟量输入/出信号，可通过调节设定值就能精准的控制整个工艺过程。
-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀，具有超快和平稳控制的特性。
二、应用领域：
-- 半导体工艺，气相和液相色谱仪，MOCVD过程中蒸汽压力控制，挤塑成型过程中气体压力保护控制，高压釜/反应釜压力控制等。
三、可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计产品参数：
（如所需性能与下述性能参数不同，请沟通定制。)
| 技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ≤±0.5%F.S | |||
| 压力量程比 | 压力计 | 1:100 | |||
| 压力控制器 | 1:50 | ||||
| 重复性 | ≤0.1% | ||||
| 传感器响应时间 | 0.2s | ||||
| 控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件：1 L/min N2) | ||||
| 运行温度 | -10~+70℃ | ||||
| 温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||||
| 漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||||
| 方位影响度 （90°变化） | ＜0.03 KPa（绝压/表压传感器） | ||||
| ＜0.6 KPa（差压传感器） | |||||
| 预热时间 | 忽略不计 | ||||
| 机械部件 | 材质 | 不锈钢 | |||
| 工艺连接 | G3/8" | ||||
| 密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/聚四氟乙烯/全氟/乙丙橡胶其他 | ||||
| 防护等级（外壳） | IP40 | ||||
| 电气特性 | 电源 | 15~24Vdc | |||
| 数字输出 | RS485/RS232、profibus协议、Devicenet协议等 | ||||
| 电气连接 | DB9 | ||||
