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流量控制智能数显电子压力控制器EPC/压力计
面议泄露检测及气密检测压力控制器EPCD
面议自动补气Torr托尔级压力控制器EPC/压力计
面议可自动补气高精度气体压力控制器EPC/压力计
面议密闭容器进气排气专用双阀压力控制器EPCD
面议数字式单阀反应釜压力调节控制器EPC/压力计
面议反应釜充气自动控制EPC压力控制器
面议DeviceNet Pressure Controller 压力控制器
面议保持压力或控制气路及管道压力的压力控制器
面议控制前压、背压的压力控制器、压力调节器
面议高精度前端后端腔体压力控制器、压力调节器
面议表压绝压真空负压的压力控制器EPC及压力计
面议一、ACU10P系列 带压力测量数字信号及模拟信号高精度压力计 产品特点:
-- 测量范围从100Pa 到 20MPA(绝压和表压皆可)。
-- 精确度高、重复性好,分为前压控制和背压控制两种。
-- 标配一个压电膜片式压力传感器和数字电路板,提供高精度、稳定、可靠的压力测量和控制。
该基本数字PC具有测量和控制所需的所有基本功能。
-- 除了配备标准的RS485输出信号,还提供模拟I/O信号。
-- 可装配一体式控制阀或分体式控制阀。它是一种比例式电磁控制阀,具有超快和平稳控制的特性。
我们有不同系列的控制阀对应特定的应用领域。常规应用使用标准的直接操控阀,高流速应用使用先导阀。
二、应用领域:
-- 半导体工艺,气相和液相色谱仪,MOCVD过程中蒸汽压力控制,挤塑成型过程中气体压力保护控制,高压釜/反应釜压力控制等。
三、带压力测量数字信号及模拟信号高精度压力计 产品参数:(如所需参数与下述列举不同,请另行沟通咨询)
技术参数 | 精度(包括线性和滞后性) | ±0.25%F.S | |
压力量程比 | 压力计 | 1:100 | |
压力控制器 | 1:50 | ||
重复性 | ≤0.1% | ||
传感器响应时间 | 0.2s | ||
控制稳定性 | ≤±0.05%F.S(测定条件:1 L/min N2) | ||
运行温度 | -10~+70℃ | ||
温度敏感性 | 0.1%FS/℃ | ||
漏率 | 1×10-9 SCCS He | ||
方位影响度 | <0.03 KPa(绝压/表压传感器) | ||
<0.6 KPa(差压传感器) | |||
预热时间 | 忽略不计 | ||
机械部件 | 材质 | 不锈钢 | |
工艺连接 | 表体内螺纹G3/8" | ||
密封材质 | 氟橡胶/丁腈橡胶/氯丁橡胶/其他 | ||
防护等级(外壳) | IP40 | ||
电气特性 | 电源 | ±15Vdc;24Vdc;220V(转接) | |
数字输出 | RS485/RS232、Modbus、profibus、DeviceNet等协议 | ||
电气连接 | DB9 |