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一、超大量程、流量的高精度气体质量流量计MFM 产品概述：
◆管状分流，不易堵塞
◆适用于各种低压和高压管道
◆预热时间短，零漂小，可靠性高
◆模拟量输入/输出可使用二次表或流量计算机控制和显示流量
二、产品应用：
真空镀膜 / 太阳能、氢能等新能源 / 半导体 / 石油石化精细化工 / 电力冶金
环保 / 食品包装 / 生物医药 / 新材料 / 工业制作 / 各种分析仪器 / 制气配气系统
三、超大量程、流量的高精度气体质量流量计MFM 产品参数：
| 产品型号 | ACU20FD-HM |
| 量程范围 | 6000SLM～20000SLM |
| 测控范围 | 流量计量程比100:1 |
| 准确度 | ±0.5%F.S |
| 线性 | ±0.5%F.S |
| 重复精度 | ±0.2%F.S |
| 响应时间 | 流量计：<0.1s |
| 流量控制器：<0.2s | |
| 数字量 | RS232/485，MODBUS协议 |
| 模拟量 | 0～5V、4-20mA、1～5V |
| 供电 | ±15VDC，24VDC |
| 工作温度 | 0～50℃ |
| 工作压力 | 工作压差：0.3~0.5Mpa |
| 最大耐压 | 3MPa/10MPa |
| 电气连接 | DB9孔, RJ11, 5.5×2.1电源快插 |
| 漏率 | 1×10-9Pa m³/S |
| 温度系数 | ±0.025%F.S/℃ |
| 底座材质 | 不锈钢 |
| 密封材质 | 氟橡胶，氯丁橡胶，丁腈橡胶 |
| 接头 | φ12，1"，2“，法兰安装 |
如果所需性能要求与上述性能不同，请沟通定制。
