YAMATO/日本雅马拓 品牌
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广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510，均匀性高的电极构造，操作简单的触摸屏控制器，适用于研究开发的小型等离子清洗机。雅马拓YAMATO小型等离子清洗机表面处理仪
仪器特点：
DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。
RIE模式。
均匀性高的电极构造。
操作简单的触摸屏控制器。
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 | |
等离子模式 | RIE（DP模式选配） | |||
电极构造 | 平行平板（固定） | |||
高频输出 | Max300W | Max500W | ||
频率 | 13.56MHz | |||
反应腔尺寸 | W400xD250Lx150mm | W500xD300Lx200mm | ||
电极尺寸 | W250xD170mm | W400xD200mm | ||
反应室材质 | 2系统（Ar、O2） | |||
填充气体 | N2或干燥空气 | |||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | ||
真空泵 | 另行选配 | 油泵（约345L/分）标配 | 油泵（500L/分）标配 | |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 | |||
外形尺寸 | W540xD600xH600mm | W540xD600xH600mm | W700xD700xH1285mm | |
重量 | 约100KG | 约105KG | 约180KG | |
电源 | 单相AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A | |
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