YAMATO/日本雅马拓 品牌
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广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC610，小型、多段式等离子清洗机。600W的小型高输出功率，可处理纵型的试料收纳盒。雅马拓YAMATO多段式等离子清洗机表面清洁机
仪器特点：
600W的小型高输出功率。
电极可选择1·2·3段（采购时确定）。
可处理纵型的试料收纳盒。
可选择RIE/DP模式（采购时指ding）。
数据记录器（选配）。
适配点记忆功能（选配）。
型号 | PDC610 |
等离子模式 | RIE/DP（固定模式） |
电极构造 | 3段独立平行平板（固定） |
高频输出 | Max600W |
频率 | 13.56MHz |
控制 显示方式 | PLC 触摸屏 |
反应腔尺寸 | W350xD270xH300mm |
反应腔材质 | A5052 |
反应气体 | 2系统（Ar、O2） |
填充气体 | N2或干燥空气 |
真空泵 | 油泵（约345L/分）标配 |
外形尺寸（宽x深x高） | W600xD722xH700mm |
外装材质 | 不锈钢 |
电源 | 3相 AC200 50/60Hz 15A |
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