大平台晶圆线路板检查测量显微镜测量与读数

1.调节目镜进行视场调整，使显微镜十字线最清晰即可；转动调焦手轮，从目镜中观测，使被测工件成像清晰；可调整被测工件，使被测工件的一个横截面和显微镜移动方向平行。

2.转动旋转轮可以调节十字竖线对准被测工件的起点，在标尺上读取毫米的整数部分，在旋转轮上读取毫米以下的小数部分。两次读数之和是此点的读数A。

3.沿着同方向转动旋转轮，使十字竖线恰好停止于被测工件的终点读数A′，记下此时所测量工件的长度。

大平台晶圆线路板检查测量显微镜产品参数

1.主体规格

◆X坐标行程:    310（mm）

◆Y坐标行程：  310（mm）

◆Z坐标行程:    50（mm）
◆操控方式：XY手动同轴低手位粗微调可切换（带快速移动）

Z轴手脉电动操控（快上-快下-中档-慢档切换）
◆反射照明光源：

明暗场反射照明器，带明暗场照明切换装置；

可变视场光阑与孔径光阑，均可调中心，带滤色片插槽与偏光装置插槽。

可根据客户产品不同而选择DIC微分干涉功能。

2.目视系统
◆物镜放大倍数：五孔旋转器，标配5X、10X、20X、50X明暗场半复消色差金相物镜（可选配100X）

标配手动鼻轮（可选配电动鼻轮）

◆目镜放大倍数：10X( 单、双目同，PL10X25mm)
◆总放大倍数：  50X-500X（包括畸变在内的）


3.影像系统
◆摄像机接口：C型接口，可调焦

◆CCD：630万高清数字相机（自带软件可显示影像视窗及二维尺寸量测）
◆综合影像最大放大倍数：1000X以上

使用注意事项:

1.在松开每个锁紧螺丝时，必须用手托住相应部分，以免其坠落和受冲击。

2.注意防止回程误差，由于螺丝和螺母不可能密合，螺旋转动方向改变时，它的接触状态也改变，两次读数将不同，由此产生的误差叫回程误差。为防止此误差，测量时应向同一方向转动，使十字线和目标对准，若移动十字线超过了目标，就要多退回一些，重新再向同一方向转动。