一、产品概述：

半导体参数测试仪是一种专门用于测量和分析半导体器件电气特性的测试设备。该仪器能够评估器件的电流-电压（I-V）特性、容量、泄漏电流和其他关键参数，广泛应用于半导体制造和研发领域。

二、设备用途/原理：

·设备用途

半导体参数测试仪主要用于测试各种半导体器件，如二极管、晶体管和集成电路。工程师可以利用该仪器进行器件特性分析、故障排查和性能评估，以确保半导体产品的质量和可靠性。

·工作原理

半导体参数测试仪通过施加已知的电压并测量相应的电流来工作。仪器内部使用高精度的模数转换器（ADC）和数字信号处理技术，实时记录和分析I-V曲线。用户可以设置不同的测试条件，如扫频、阶梯测试等，生成详细的测试报告，帮助用户深入了解器件的电气特性和性能表现。

三、主要技术指标：

1. 配备集成电脑及显示屏一体机箱，包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块，配合用数据测量分析软件，无需外接其他仪表即可实现I-V曲线，I-t曲线，C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果

2. 电流测量精度≤0.1 fA，小可测量电流≤20 fA

3. 大电流测量量程≥0.1 A，大输出功率≥2 W

4. 电流测量精度10 fA时，电流表的短采样时间间隔100 μs

5. I-V特性测试及C-V特性测试切换时，无须更改电路

6. 实现不同频率交流阻抗测量（C-V、C-f、C-t） 的测量，频率范围1 kHz-5 MHz，小频率步进≤1 mHz

7. 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF（5 MHz）

8. 电容测量范围5 fF-1 nF，电压0至±25V，步进≤1 mV

9. 具有脉冲输出及采集模块，脉冲输出电压峰值10 V

10. 脉冲采样大采样率≥200 MSa/s，小采样时间5 ns

11. 具有瞬态波形捕获模式

12. 具有任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，可编程分辨率10 ns