1.产品概述：

Beneq Prodigy™ 是 VCSEL、LED 和 MEMS 制造商和代工厂的理想制造解决方案，他们希望通过经济实惠的独立 ALD 批处理工具提高设备性能和可靠性。Beneq Prodigy 为多种晶圆类型和尺寸提供同类佳的钝化和/或封装膜。

2.产品优势：

价值：以更低的价格提供技术。 Prodigy在经济性、容量和可靠性方面为化合物半导体和MEMS制造市场提供了的突破。

单纯：有更多时间思考解决方案。 Prodigy 通过水平晶圆处理的自动装载以及直接的维护和可维护性以及轻松的侧面检修，提供了纯粹的简单性。

创新：定义新标准。 该工具为采用ALD的化合物半导体和MEMS器件的经济实惠的大批量制造设定了全新的标准。我们使用 Beneq 超过 15 年积累的简单自动化和可靠的反应器设计，为应用域提供经过验证的结果。

晶圆厂就绪：Beneq Prodigy 与 SECS/GEM 通信功能兼容，并符合高的 SEMI S2 标准。