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纳米激光直写系统型号擅长wafer尺寸的研究开发和小批量生产
纳米激光直写系统型号是一款大面积、高精度、可套刻、超衍射极限加工的激光直写系统，可用于晶圆尺寸的大面积微纳加工，适用于各种微纳结构和器件制造、小批量微纳器件生产等。该系列包括L50、L100等不同型号，具有功能强大、维护简单、加工分辨率高、支持多种刻写模式、支持多种受体材料等特征。另外，本系统在设计之初保留了充足的物理空间和硬件资源，以满足后续功能升级换代的需求，使产品具有更长的生命周期。
苏州华维纳纳米科技有限公司于2011年注册成立的高科技创新型公司，主要从事新型纳米光刻技术和无掩模纳米光刻机的研发和产业化工作。
