水冷型冷水机

 用于气体的降温与冷却，也可选择进行升温与恒温控制。气体通常为干燥的压缩空气或氮气、氩气等惰性气体。进气温度可以是常温的，也可以是高温的，经过气体制冷机降至目标低温。针对于晶圆测试载冷台的应用来说，气体制冷机相比较于传统的液冷有诸多优势，如使用方便、安全卫生、成本低、无异味等。客户可根据气体处理流量及温度来选择设备。系统主要由制冷系统、换热系统、控制系统、箱体等组成。制冷系统采用蒸汽压缩式制冷。换热系统包括高效换热器、连接管路、保温等组成。控制系统采用西门子PLC，自适应PID控制算法，面对不同的使用环境和负载，无需改变参数，即可实现最佳的温度控制。高清触摸屏显示，完善的安全保护措施，设置有多种安全保护机制以确保系统的安全运行。控制器物联网，可在手机APP上进行远程查看数据、报警信息和远程操控；可选配冷量回收装置，提升能效，避免低温冷凝水，通过机组自身的制冷，将进入装置内的干燥气体进行降温及恒温处理，满足工艺条件要求。

设备特点

快速降温：自主设计的高效换热系统，常温的干燥压缩空气或者氮气通入到PTLQ气体制冷机后，出来的气体即可达到目标低温温度。

一体式结构：在工厂已将系统整体组装完毕，用户只需要将电源、气体管路、冷却水管路安装完毕即可开机运行。

防爆设计：可根据客户实际使用需求，定制各种类型的防爆设计。

高效换热系统：蒸发器采用板式换热器部分产品可能会采用翅片管式换热器，换热效率高，结构紧凑，耐压高，承压能力大于2.5MPa。

控制重复性：基于高级动态控制系统，每次都能实现一致的控制结果，大大提升产品生产的稳定性。

控温系统：自主开发的温度控制模块，改变控制设定的方法，能够尽快的响应过程中系统的滞后，得到最小的温度过冲。控制由两组PID（每组PID是可变的）控制回路构成，这两组控制回路成为主回路和从回路，主回路的控制输出作为从回路的设定值。系统采用带有前馈PV，主控回路的PID运行结果的输出与前馈PV信号复合后作为主控回路的设定值，通过这样对温度变化进行梯度控制，保证系统的温度精度。

水冷型冷水机