EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵

EBARA荏原 EV-PA系列小型干式真空泵是小型、轻量、节能的空冷干式真空泵。无需冷却水，所需公用工程仅电源，可在单相100V-240V电源下使用。采用小型、轻量的便携式设计，在有限空间内也能实现安装。除此以外，还采用非接触式密封结构，无需更换密封，使用寿命更长。除了各种分析用途以外，它也是便携式漏泄检测器以及需要反复搬动的研究和试验用途的选择。

特点

l  无油洁净真空；无需补充或更换水、油等定期维护作业

l  可从大气压达到高度真空

l  小型、轻量、节能

l  风冷

l  无需更换密封，使用寿命长

l  低噪音

l  可满足CE标示/SEMI-S2/NRTL要求

技术参数

EBARA荏原公司介绍：

2023年全年销售额：345亿元人民币

全球员工：19600人

EBARA荏原的精密与电子事业公司是真空技术和平坦化技术的企业，为行业先进的技术制造现场提供支撑。EBARA荏原向全球供应半导体制造的CMP装置以及干式真空泵、废气处理装置、臭氧水生产装置等各种产品。这些产品通过高性能、高可靠性和令人放心的技术支持体制，在众多领域得到了使用。除了半导体领域以外，在化学、医药、其他制造业和研究开发用途方面，荏原制作所的产品同样大放光彩。

应用行业