ZEISS/蔡司Sigma 系列产品扫描显微镜

结合了场发射扫描电子显微镜技术和高级分析性能，用于颗粒、表面和纳米结构成像。Sigma 的4步半自动工作流程节省了大量的工作时间.

介绍

灵活的探测，4步工作流程，高级的分析性能

将高级的分析性能与场发射扫描技术相结合，利用成熟的 Gemini 电子光学元件。多种探测器可选：用于颗粒、表面或者纳米结构成像。Sigma 半自动的4步工作流程节省大量的时间：设置成像与分析步骤，提高效率。

Sigma 360 性价比高。Sigma 560 装配的背散射几何探测器，可快速方便地实现基础分析。任何时间，任何样品均可获得准确、可重复的分析结果。

ZEISS/蔡司Sigma 系列产品扫描显微镜特点

用于清晰成像的灵活探测

    利用优良探测术为您的需求定制 Sigma，表征所有样品。

    利用 in-lens 双探测器获取形貌和成份信息。

    利用新一代的二次探测器，获取高达50%的信号图像。在可变压力模式下利用 Sigma 创新的 C2D 和 可变压力探测器，在低真空环境下获取高达85%对比度的锐利的图像。

自动化加速工作流程

    4步工作流程让您控制 Sigma 的所有功能。在多用户环境中，从快速成像和节省培训首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

    首先，先对样品进行导航，然后设置成像条件。

    接下来对样品感兴趣的区域进行优化并自动采集图像。最后使用工作流程的最后一步，将结果可视化。

高级分析型显微镜

    将扫描电子显微镜与基本分析相结合：Sigma 背散射几何探测器大大提升了分析性能，特别是对电子束敏感的样品。

    在一半的检测束流和两倍的速度条件下获取分析数据。

    获益于8.5 mm 短的分析工作距离和35°夹角，获取完整且无阴影的分析结果。

Gemini光学元件

基于成熟的 Gemini 技术

● Gemini 镜头的设计结合考虑了电场与磁场对光学性能的影响，并将场对样品的影响降至更低。这使得即使对磁性样品成像也能获得出色的效果。

● Gemini in-lens 的探测确保了信号探测的效率，通过二次检测(SE)和背散射(BSE)元件同时减少成像时间。

● Gemini 电子束加速器技术确保了小的探测器尺寸和高的信噪

灵活的探测

用于清晰成像的灵活探测

● 利用新的探测技术表征所有的样品。

● 在高真空模式下利用创新的 ETSE 和 in-lens 探测器获取形貌和高分辨率的信息。

● 在可变压力模式下利用可变压力二次电子和 C2D 探测器获取锐利的图像。

● 利用 aSTEM 探测器生成高分率透射图像。

● 利用 BSD4 或者 YAG 探测器进行成份分析

可视化及分析软件

蔡司Atlas 5-挑战多尺度分析

Atlas 5可以简化您的工作：以样本为中心的关联环境下为您创建多尺度、多模式的综合图片。Atlas 5集强大的硬件和易于操作的软件为一体，大大拓展了蔡司扫描电镜（SEM）的应用范围。

可视化及分析软件

蔡司推荐您使用Object Research Systems (ORS) 的 Dragonfly Pro

此解决方案可为X射线，FIB-SEM，SEM以及氦离子显微镜获取的三维数据进行可视化三维重构和分析。

基于Visual SI Advanced系列, Dragonfly Pro 能提供高清解析度可视化技术和优异的图形处理技术。Dragonfly Pro支持通过简单易用的Python脚本进行定制。用户可以掌控3D数据后期处理环境和流程

配件

集成式 EDS 解决方案

在低能量分析应用中同时实现高清晰度成像

Sigma Element 是一种集成式 EDS 解决方案，拥有高可用性和低电压灵敏度。仅需使用一台计算机来控制 EDS 和 SEM，进而大大提升了该集成化解决方案的易用性。同时，借助专门为显微镜和 EDS 操作设计的用户界面可实现并行控制。

• 集成化：通过集成化，结合高清晰成像与快速分析，从而获得不错结果

• 定制化：根据不同的用户需求定制软件

• 灵敏度：氮化硅窗口增强低能X射线的探测灵敏度

拉曼成像与扫描电镜联用系统

集成化的拉曼成像

获取样品中化学结构的指纹信息：聚焦拉曼光谱成像可扩展您的蔡司Sigma 360 扫描电镜性能。 分析获得样品分子结构和结晶信息。 通过拉曼成像与EDS数据可进行3D 分析并与SEM图像关联。集成化的拉曼成像扫描电镜联用系统使你充分发挥SEM和拉曼系统的功能。