ULVAC/日本爱发科 品牌
经销商厂商性质
深圳市所在地
玉崎现货供应ULVAC真空计传感器头WP-02
玉崎现货供应ULVAC真空计传感器头WP-02
传感器规格：如果需要压力
·空白计划降低
·控制板空间节省
·配线简化
决定子交换更容易
灯丝采用耐腐蚀材料铂
其中一个使用的测量组件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用
可以输出2个设定点
SP1：压力为0至5 V输出（非输出）
电源电压：24 VDC输入
用于半导体・电子部件等各种制造设备的低真空领域的工艺控制
用于炉等各种工业设备的低真空领域的工艺控制
用于在线式・片叶式等工艺腔室多种的各种制造设备的低真空领域的工艺控制
| 类型 | 传感器单元 |
| 模型 | SP1 |
| 兼容的传感器头 | WP-01、WP-02、WP-03、WP-16 |
准确性 | ±15 %（51 Pa ～760 Pa） |
| ±30 %（10 Pa ～1000 Pa） | |
| ±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa） | |
| 工作温度范围 | 10～40℃ |
| 测量值输出 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 设定点 1/2 压力设定调节监视器 | 非线性输出：0至5VDC（最大10V） |
| 控制输出信号 | 集电极开路输出，负逻辑 |
| 错误信号 | |
| 设定值 1/2 | |
| LED显示屏 | 功率、错误、设定点 1、设定点 2 |
| 电源电压 | DC24V±2V，90mA（最大） |
| 输入/输出连接器 | D-sub-15P（M2.6螺丝） |
| 重量 | 190克/0.41磅（不包括传感器头） |
标准配件 | 输入/输出连接器 1 个 |
| 快速说明书 1份 |
