EM8010-场发射扫描电子显微镜_场发射扫描电镜-北京中科科仪光电科技有限公司手机版

详细介绍

1、产品介绍

KYKYEM8010场发射扫描电子显微镜 低电压下能够保持较好的亮度和较高的分辨率，束流稳定度高、色散小，适宜长时间的各种精确分析，一键standby功能，维护更方便，软件操作简便，提升用户使用体验。为科研高校、生命科学，新能源等领域客户提供稳定可靠的产品解决方案。

2、产品特点

l 1.5nm@15Kv (SE)，3nm@30kV (BSE)

l 低加速电压保持较好的亮度和分辨率

l 低加速电压不导电样品可直接观测，无需喷金

l 肖特基电子枪亮度高、单色性好、电子束斑小、寿命长

l 束流稳定度高，色散小，适宜于长时间的各种精确分析

l 一键standby 维护更方便

l 具备光学导航，快速样品定位

3、KYKYEM8010 场发射扫描电子显微镜 技术指标：

分辨率	1.5nm@15KV（SE）； 3nm@30KV（BSE）
放大倍数	光学放大倍数4-100倍；电子学放大8-800000倍
电子枪	肖特基热场发射电子枪
加速电压	0.2～30kV
自动调整功能	聚焦，亮度/对比度、消像散、电子束对中
探测器	高真空二次电子探测器；红外CCD摄像头；一体化背散射探测器；光学导航探测器
样品台	五轴全自动中型样品台行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360° 最大样品直径: Ф175mm；最大样品高度：20mm;样品台具有碰撞报警功能。
选配探测器	BSE、EDS、EBSD、CL、EBIC等

4、应用领域

磷酸铁锂

场发射扫描电子显微镜

芯片缺陷分析

场发射扫描电子显微镜

氧化亚硅

场发射扫描电子显微镜