一、产品介绍：

KYKY-EM69系列钨灯丝扫描电子显微镜

成像质量出色、拓展性丰富、兼容低真空模块、自动功能强大，结合众多自动化功能，可帮助您在材料科学、生命科学或工业领域等进行科学研究及失效分析。

二、产品特点：

采用双阳极设计，低电压下分辨率和成像质量更高;

样品台和仓门一体化设计，方便换样，同时可选配多功能超大样品仓;

样品定位与保护功能，红外CCD功能实时监测样品位置，软件可根据样品尺寸开启保护功能，防止样品碰撞，样品台碰撞瞬间可自动停止工作。

三、拓展功能：扩展接口≥13个，可以拓展多种附件以及提供多种定制化服务以及解决方案。

四、电子束曝光功能：

扫描电镜改造为电子束曝光系统（EBL）后，能够精确地控制电子束的扫描路径和能量沉积，从而实现高分辨率的图形曝光。该系统采用先进的电子束扫描控制技术，支持灵活多样的图案设计和精确控制，不仅具有电子束曝光功能，还保留了原SEM 的观测功能，这使得用户可以在同一台设备上完成样品的观测和加工，提高了工作效率和便利性。

五、技术参数

六、产品功能

七、应用案例