产品型号

PCE-6 小型等离子清洗机

主要特点

1、通过控制面板的按键及开关，可控制调节射频功率、真空泵的开闭、清洗时间。

2 、时间、功率、 真空度等信息显示在一组 4 位数码管上。

3 、设有一个三通阀， 可精确控制进气流量， 以及大气流清洗腔体，进气接口为 6mm 卡套 接口。

4、选用大功率射频电源设备可进行等离子刻蚀和等离子灰化实验。

技术参数

1 、电源： AC220V    50/60Hz

2、输出功率： 7.2W 、10.2W 、29.6W

3、真空泵功率： <500W

4、总功率： <600W

5、射频频率： 3.0MHz ，功率 3 档可手动调节

6 、等离子腔体： 高纯石英腔体， Ø160mm×190mm，采用铝制折叠式法兰进行密封，法兰 上设有 Ø45mm 的观察窗

7、真空泵： 240L/min，直连式双旋真空泵

8、极限真空度： 50mtorr

9 、通入气体： 可通入多种气体来产生等离子， 如 N2 、Ar 、H2 、O2 、Air 和混合气体等（根 据材料性质选定）

清洗及蚀刻

产品规格

尺寸： 400mm×300mm×300mm，重量： 10.2kg

可选配件

1 、2"-6"石英舟（盛放基片）

2 、2-4 通道质子或浮子混气系统