压电·大范围扫描运动 Carrier.OBxxx.C

➡ 针对显微物镜的大负载、高动态、紧凑型解决方案，用于显微成像、自动对焦等应用

• Z 方向运动范围 50-400 um；

• 最快稳定时间(90%位置稳定)10 ms以内；

• 闭环定位精度优于 1 nm；

• 控制器兼容多场科技MC-Archimedes Series；

• ⽀持无磁 (.NM) , 高真空 (.HV) 和超高真空(.UHV)选件升级；

压电陶瓷扫描台，物镜型，兼容无磁高真空——详细参数：

压电陶瓷扫描台，物镜型，兼容无磁高真空——尺寸图：

Carrier.OB050.C

Carrier.OB100.C

Carrier.OB200.C

Carrier.OB400.C

多场科技“压电扫描台·物镜型”解决方案Carrier.OB.系列主要针对精密光学，半导体表征等应用场景，核心特点包括：

• Z方向单一运动方向，行程覆盖50-400 um

• 快速运动稳定，10 ms内完成

• 支持高负载物镜选项；提供多种物镜转接接口

• 支持第三方软、硬件控制，实现自动对焦

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 支持无磁 (.NM), 高真空 (.HV) 和超高真空 (.UHV) 选件升级

• 控制器兼容多场科技 Motion Controller - Archimedes Series