压电·三轴并联 Free3D.ZTxTy.150

➡ 3自由度并联设计，空间中ZTT移动

• 由纳米级驱动单元实现的三自由度并联结构，有效降低累积误差；

• 多轴姿态同时调节、结构稳定、刚性高；

• 平动行程：Z  ±5 mm；

• 主体材料：铝合金；

• 角摆行程：ΘX, ΘY, ±3 °, ±3 °；

• 最大垂直负载：3 kg；

• 单向重复定位精度Z：±0.15 μm；

• 单向重复定位精度ΘX, ΘY：±2.5 μrad, ±2.5 μrad；

• 最小位移Z：25 nm；

• 最小位移ΘX, ΘY：7.5 μrad, 7.5 μrad；

• 速度：1 mm/s - 10 mm/s；

• 重量：1.5 kg；

• 可提供真空环境规格；

• 集成传感器：光学编码器；

• 位置传感分辨率：2 nm；

• 控制软件：提供PC端使用软件;

• 控制器通道：3通道输出控制;

• 控制方式：根据用户输入的位移指令，实现对位移台三轴空间姿态的运动调节；各驱动单元模块通过光栅位置反馈实现闭环控制；通过专用软件，实现对三轴并联运动的解算，分配到各驱动单元模块，实现三轴空间姿态的同时调节

压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动——详细参数：

压电三轴并联位移台，三自由度，ZTT移动——尺寸图：