压电载物台·高负载通孔型 Carrier.S100.xyRz.C

➡ 高负载·高速XY平面运动，Z轴旋转设计，保证XY面内准直运动

• 两维度 XY 扫描运动100 um, Z轴旋转运动1 mrad；

• 闭环分辨率优于 1 nm；

• 最大负载 5 kg；

• 针对光学显微镜-超分辨定制化解决方案；

• ⽀持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级；

压电偏转台，高负载通孔型，XYRz方向——详细参数：

压电偏转台，高负载通孔型，XYRz方向——尺寸图：

多场科技“压电扫描台·通孔型”解决方案包括Carrier.S 系列（标准型）和Carrier.SL 系列（轻量型）。Carrier.S & SL系列主要针对精密光学，半导体表征等应用场景，覆盖载物台“大行程·高精度·重负载”等需求，核心特点包括：

• 运动方式覆盖线性运动 & 俯仰运动

• X，Z，XY，XYZ & ZTT等运动形式全面支持

• 线性运动行程覆盖100 um 到 300 um (可定制更大行程)

• 支持电容(.C) 位置传感

• 最高分辨率达到0.2 nm

• 超快运动响应 & 长时间疲劳测试

• 支持无磁 (.NM) 和超高真空 (.UHV) 选件升级