Thermo Scientific™ EscaLab QXi X射线光电子能谱仪是ESCALAB 系列产品。作为可扩展的多技术表面分析平台，ESCALAB QXi有着灵活性和完备的专业配置选项。汇聚前沿技术，打造出高效便捷的软件系统，高性能的硬件配置，高效的生产力。强大的Thermo ScientificTM AvantageTM 软件系统集系统控制、设备状态实时监控与调节、数据采集、数据处理、报告生成等多功能于一身，操作便捷，快速高效。

EscaLab QXi X射线光电子能谱仪分析性能：

● 表面元素定性、定量分析

能量分析器设计和双晶微聚焦单色化X射线源结合，实现了能量分辨率

● 快速高分辨平行成像

化学成像: 空间分辨率优于1um

回溯成谱: 回溯区域优于6um

● 无需背底修正探测器

电子倍增器和电阻阳极探测器的双探测器设计，可实现高性能的XPS采谱和高空间分辨的XPS成像的需求。

空间连续的电阻阳极探测器创新技术，使得XPI成像分辨率达1um，同时所得数据无探测器背底特征，无需背底校正，直接得到微米尺度分辨的定量元素分布成像结果。

● 微聚焦单色源

分析尺寸在20μm～900μm之间连续可调

灵敏度和能量分辨率

提供不少于20个靶材工作点，确保仪器终身使用过程中阳极靶无需更换

● 自动化高效离子剖析源

新型Ar离子团簇与传统单粒子离子源相结合，用于各类材料的深度剖析研究

● 高精确度角分辨XPS

软件控制分析位置和角度，确保数据的精确性和重复性

全套的ARXPS数据处理工具，可对纳米尺度的多层结构器件进行层厚计算

● 一键式荷电补偿

配有双束电荷中和系统，可以根据实际样品的需要独立控制开启。

适用于所有不导电样品及粗糙表面的荷电中和

● 强大的Avantage分析软件

全数字化仪器控制

系统软件可视化操作

全套XPS标准数据图库以及化合物结构鉴定数据库

自定义数据采集到报告生成模式

操作简便：

● 高度自动化

分析区域和角度分辨可选

自动化气体调节和真空控制

● 随时校准

能量标尺和仪器功函数的校准

离子枪定位和离子束聚焦

● 鼠标点击式样品导航

实时显示分析位置

高照明强度、强度可调

设计灵活：

● ISS、ARXPS与REELS为标准配置

● 多功能进样室为标准配置

● UPS和EDS/AES/SEM/SAM/可选

● 可选的样品预处理附件，包括：

样品制备台、晶体清洁器、样品刮片器

样品加热/冷却装置

溅射清洁离子枪

蒸发器

高压反应室