美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪 Entegris 特点介绍

一种先进的基于光学的监测解决方案，用于检测和监测电镀溶液应用中极低水平的溶解氧。InVue ®溶解氧分析仪 (DOX) 连续测量溶解氧，过程影响最小。

与溶解氧发生反应的高灵敏度发光体（可在安装位置更换）

耐腐蚀、高纯度设计，PTFE 外壳内有干净的硅胶润湿膜

两个模拟输出：浓度和温度

美国Entegris耐腐蚀检测电镀溶液解氧测定仪 Entegris 规格参数

电镀液装置和槽中溶解氧的存在是工艺用药液的重要课题。当溶解氧达到不可控制的水平时，会导致反应性降低或触点腐蚀。

为了满足这一关键工艺要求，InVue采用先进的、基于光学的高灵敏度发光管（传感器），用于高纯度、高反应性镀液装置和槽应用。

™（预览）开发了溶解氧浓度计。这种透视溶解氧浓度计，经过验证的发光、通过利用检测技术，可持续测量溶解氧水平，

通过PTFE壳体内的清洁硅液相接膜，透视浓度计可监视金属反应性镀液中的溶解氧水平。

这可以提高工艺生产率，延长设备和工艺液的使用寿命，从而降低运营成本。

此外，在下一代20纳米以下前端光线（FEOL）和后端光线（BEOL）工艺中，可提供类似的性能。