Adwill-Global全自动研磨用保护胶带贴合机 RAD-3520F/12 特点介绍

扩充畅销机型“RAD-3510F/12”的功能，实现高性能、省空间化。

1. 标准的双装载端口

2. 具有扫片功能的FOUP装载端口作为标准功能提供

3. 设备占地面积约缩小30%

4. 可实现70片/小时的高生产能力 选用高速规格时，可实现最大100片/小时的生产能力

5. 每卷胶带的晶圆贴膜数量最多可提高16％※胶带长度为100m/卷，晶圆尺寸为300mm（12英寸）直径时

6. 可搭载多种选配功能 ESD措施、各种清洁功能、自动换刀等

Adwill-Global全自动研磨用保护胶带贴合机 RAD-3520F/12 规格参数

 A．晶圆装载、扫片、取片

通过扫描检测晶圆盒内的晶圆。根据其检测结果，由多轴机械臂取片，并运输至校准单元。

B．晶圆校准

晶圆以V形缺口或平边为基准，以非接触方式对晶圆的圆心进行校准后，运输至贴膜台。

C．研磨用表面保护胶带贴合

利用roll-to-roll方法，使用压辊进行研磨用表面保护胶带贴合。利用最新的TTC机构，实现低张力贴合。

D．胶带切割

通过3D运动控制(x、y、θ)，沿晶圆外周进行胶带切割。