日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150 特点介绍

产品采用AC伺服电机且无刷，因此在防止洁净室污染方面具有出色的性能，并且减少电机的发热以防止连续使用时的温度升高。膜厚再现性也较低。

日本MIKASA小型高性能旋涂机涂布机洁净室用 MS-B100 / MS-B150规格参数

MS-B100

最大板尺寸 φ4英寸晶圆或75×75mm基板 

转速（转/分） 20～8,000 

旋转精度 ±1rpm（负载时） 

发动机 交流伺服电机 

盖 丙烯酸纤维 

纺丝室直径 φ220mm 

步进模式数量 100 步 x 10 种模式 

时间设置 999.9秒 

安全联锁装置 真空标准设备

盖子可选 

滴水装置 无法安装 

使用真空压力 -0.08～-0.1MPa 

电源 AC100~240V 5A 

外形尺寸（毫米） 259宽×246高×330深 

重量 10公斤 

MS-B150

最大板尺寸 φ6英寸晶圆或100×100mm基板 

转速（转/分） 20～7,000 

旋转精度 ±1rpm（负载时） 

发动机 交流伺服电机 

盖 丙烯酸纤维 

纺丝室直径 φ290mm 

步进模式数量 100 步 x 10 种模式 

时间设置 999.9秒 

安全联锁装置 真空标准设备

盖子可选 

滴水装置 选项 

使用真空压力 -0.08～-0.1MPa 

电源 AC100~240V 5A 

外形尺寸（毫米） 352宽×303高×432深 

重量 16公斤