碳化硅衬底位错缺陷光学无损检测系统特点：

SiC衬底位错缺陷检测专用设备

光学非接触无损检测

BPD、TSD、TED分类识别

SiC衬底：4'/6'/8';导电、半绝缘

碳化硅衬底位错缺陷光学无损检测系统最高检测速度：＜17min/片（6"）

大连创锐光谱科技有限公司基于自主创新的时间分辨光谱技术，致力于推动光谱技术在科研和工业领域的深入应用。在科研仪器领域，创锐光谱由一线专家带队，是目前国内极少具备瞬态光谱独立研发-生产-应用完整能力体系的团队。创锐光谱以时间分辨光谱核心技术，超快瞬态吸收光谱系统为核心产品，打破进口垄断格局。主要产品包括瞬态吸收光谱系统、共聚焦荧光成像系统、DPSS纳秒激光器及高速探测器。在工业半导体检测领域，公司以光谱技术创新为核心立足点，已迅速完成碳化硅衬底、外延、氮化镓、钙钛矿电池等多领域布局。