MICRO LED晶圆级综合检测系统功能

检测晶圆尺寸：4’

测量uLED类型：RGB

明场/PL检测类型：明场缺陷分析、电极缺陷分析、PL缺陷分析

EL电学检测项目：V-I曲线、IR1/IR2/IR3、VF1/VF2/VF3

EL色度学检测项目：Cx、Cy、WLD、EQE 

PL/AOI检测速度：10 min/pcs（4’）

MICRO LED晶圆级综合检测系统EL检测速度：1.5 s/die to die

大连创锐光谱科技有限公司基于自主创新的时间分辨光谱技术，致力于推动光谱技术在科研和工业领域的深入应用。在科研仪器领域，创锐光谱由一线专家带队，是目前国内极少具备瞬态光谱独立研发-生产-应用完整能力体系的团队。创锐光谱以时间分辨光谱核心技术，超快瞬态吸收光谱系统为核心产品，打破进口垄断格局。主要产品包括瞬态吸收光谱系统、共聚焦荧光成像系统、DPSS纳秒激光器及高速探测器。在工业半导体检测领域，公司以光谱技术创新为核心立足点，已迅速完成碳化硅衬底、外延、氮化镓、钙钛矿电池等多领域布局。